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La belle histoire de Thales - Épisode 5
Le Masqueur Électronique : une révolution de précision pour la microélectronique.
En 1970, une équipe de chercheurs du Laboratoire Central de Recherche (LCR), dirigée par Jean-Edgar Picquendar et Jacques Trotel, a mis au point un appareil révolutionnaire : le masqueur électronique.
Le développement de cette technologie de pointe a combiné des compétences multidisciplinaires telles que la maîtrise de l'optique, la mécanique de haute précision, l'interférométrie et même la chimie, pour créer une machine d’une finesse sans précédent.
Le masqueur éectronique a permis de franchir une étape majeure en matière de précision pour les masqueurs optiques de l'époque, qui étaient limités à une finesse de 1 µm.
Avec une précision de 0,1 µm sur une surface de 50 mm x 50 mm, le masqueur électronique a ouvert de facto la voie à la réduction de la taille des circuits intégrés.
Ce développement révolutionnaire a ainsi permis une amélioration spectaculaire de la vitesse et de la densité d'intégration des circuits intégrés.
Non seulement les chercheurs du LCR ont bénéficié de cette avancée, mais également des entreprises étrangères telles que Siemens en Allemagne et des firmes japonaises qui ont réalisé, avec ce masqueur, leurs premiers circuits intégrés.
Les matériels ont été complétés par des photorépéteurs conçus par Georges Pircher et Michel Lacombat.
Le masqueur électronique a révolutionné l'industrie de la microélectronique en élevant le niveau de précision à des niveaux inimaginables jusqu'alors, ouvrant la voie à des circuits intégrés beaucoup plus denses.
Jean-Edgar Picquendar, voir ses brevets sur Justia et une biographie sommaire dans à propos de la division "Tubes et hyperfréquences" du CNET (Interview de Georges Goudet), de Michel Atten, François Jacq sur Persée. Mentionné également dans le papier de Michel Bergounioux sur 3AF.
Voir Lithographie à faisceau d'électrons sur Wikipedia avec le terme “vector scan”, qui cite Jacques Trotel & Olivier Cahen, et montre le schéma de principe du masqueur.
Le saviez vous ?
Les plus curieux pourront aller consulter les brevets de certains de nos anciens sur le sujet :
